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產(chǎn)品名稱：氮化鉭（TaN）
規(guī)格：0.8-10um（D50）
形貌：不規(guī)則
顏色：黑灰色
特點：高硬度、耐磨、化學(xué)惰性、熱穩(wěn)定性以及低的電阻溫度系數(shù)
用途：耐磨涂層、薄膜電阻以及集成電路中的擴散勢壘
中文名：氮化鉭
英文名：tantalum nitride
CAS號：12033-62-4
密度：13.4 g/cm3
晶型：黑色六方結(jié)晶
熔點：3090°C
化學(xué)式：TaN
電阻率：128μΩ· cm
熱導(dǎo)率：9.54W/(m·K)
分子量：194.95500
質(zhì)量：194.95100
顯微硬度：1100kg/m2
熱導(dǎo)率：9.54W/(m· K)
晶格常數(shù)：a=0.4336nm，c=0.4150nm
水溶性：不溶于水、酸，微溶于王水，溶于氫氧化鉀并分解釋放出氨，加熱至2000℃即釋放出氮氣。
制備方法
1.將金屬鉭粉用氮氣或氨氣在1100℃左右直接氮化制得。
2.以金屬鉭和氮氣為原料制備氮化鉭，反應(yīng)式如下：2Ta+N2=2TaN
將金屬鉭粉用氮氣或氨氣在1100℃左右直接氮化制得。
作用/用途
1、用來制造片狀電阻的材料，氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。在制造集成電路的過程中，這些膜沉積在硅晶片的頂部，以形成薄膜表面貼裝電阻。用來制造片狀電阻的材料，氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。氮化鉭材料被用于制作芯片導(dǎo)線的保護層。
2、用作超硬質(zhì)材料添加劑，可制備純的五氯化鉭：用于噴涂，增加變壓器、集成線路、二極管的電穩(wěn)定性。
存儲方法：本品應(yīng)密封保存于干燥、陰涼的環(huán)境中，不宜長久暴露于空氣中，防受潮發(fā)生團聚，影響分散性能和使用效果，另應(yīng)避免重壓，勿與氧化劑接觸，按照普通貨物運輸。
